Układ wody chłodzącej proces składa się z następujących części: agregatów chłodniczych, pomp, wymienników ciepła, zbiorników na wodę, filtrów i urządzeń procesowych.
Agregat wody lodowej: Zapewnij źródło zimna dla układu wody chłodzącej.
Pompa wodna: wytworzyć ciśnienie wody, aby zapewnić jej cyrkulację w układzie chłodzenia.
Wymiennik ciepła: Sprzęt ten służy do wymiany ciepła pomiędzy systemem wody lodowej a systemem wody lodowej w celu przeniesienia ciepła wytworzonego po stronie obciążenia systemu do systemu wody lodowej.Istnieje wiele typów wymienników ciepła, które można podzielić na typu płaszczowo-rurowego, typu płytowego, typu płytowo-żebrowego, typu rurki cieplnej itp., zgodnie z ich formą.Dla porównania, płytowy wymiennik ciepła ma zalety małej powierzchni i dużej powierzchni wymiany ciepła.Biorąc pod uwagę charakterystykę kosztów przestrzeni i powierzchniw fabryce półprzewodników preferowany jest sprzęt o małej powierzchni, aby zaoszczędzić powierzchnię terenu i koszty inżynieryjne.
Zbiornik na wodę: Zbiornik na wodę w systemie otwartym pełni głównie rolę uzupełniania źródła wody.Zbiornik wody w systemie zamkniętym musi wybrać zbiornik wyrównawczy.Zbiornik wyrównawczy na wodę spełnia trzy funkcje.Jednym z nich jest powstrzymanie i kompensacja rozszerzania się i kurczenia wody w systemie;drugim jest zapewnienie stabilnego ciśnienia w zamkniętym systemie wody obiegowej i odegranie roli w stabilizacji systemu;Trzeci jest wskazaniem pompy wodnej w układzie. Zwykle zbiornik wyrównawczy wysyła sygnał do uruchomienia lub wyłączenia pompy wodnej w układzie.
filtr: odfiltruj cząstki stałeW procesie wody chłodzącej istnieją dwa stosunkowo niezależne systemy, woda lodowa i woda chłodząca.Woda lodowa jest dostarczana przez agregat chłodniczy, a woda lodowa i woda chłodząca wymieniają ciepło w celu ochłodzenia wody chłodzącej i obniżenia temperatury sprzętu.Woda pompowana jest z urządzeń produkcyjnych poprzez pompę wodną do wymiennika ciepła w celu zapewnienia temperatury technologicznej wody chłodzącej poprzez kontrolę ilości wody lodowej, a następnie po przejściu filtra kierowana jest na urządzenia linii produkcyjnej, a następnie z powrotem do pompa wodna.Woda chłodząca proces tworzenia wielokrotnie krąży.Schłodzona woda jest bezpośrednio zawracana do agregatu chłodniczego.