Kontrola temperatury i wilgotności, pomieszczenie czyste

Kontrola temperatury i wilgotności, pomieszczenie czyste,
,
 

Temperaturę i wilgotność w pomieszczeniu czystym określa się głównie na podstawie wymagań procesu, ale pod warunkiem spełnienia wymagań procesu należy wziąć pod uwagę komfort człowieka.Wraz ze wzrostem wymagań dotyczących czystości powietrza istnieje tendencja, że ​​procesowi stawiane są coraz bardziej rygorystyczne wymagania dotyczące temperatury i wilgotności.

W miarę jak dokładność obróbki jest coraz lepsza, wymagania dotyczące zakresu wahań temperatury są coraz mniejsze.Na przykład w procesie naświetlania litograficznego w produkcji układów scalonych na dużą skalę różnica między współczynnikiem rozszerzalności cieplnej szkła i płytki krzemowej jako materiału membrany musi być coraz mniejsza.Płytka krzemowa o średnicy 100 μm spowoduje liniową rozszerzalność o 0,24 μm, gdy temperatura wzrośnie o 1 stopień.Dlatego musi mieć stałą temperaturę wynoszącą ±0,1 stopnia.Jednocześnie ogólnie wymagana jest niska wilgotność, ponieważ po poceniu się produktu produkt zostanie zanieczyszczony, szczególnie w przypadku warsztatów zajmujących się półprzewodnikami, które boją się sodu, ten rodzaj czystego warsztatu nie powinien przekraczać 25 stopni.

Nadmierna wilgotność powoduje więcej problemów.Gdy wilgotność względna przekroczy 55%, na ściance rury wody chłodzącej nastąpi kondensacja.Jeśli zdarzy się to w precyzyjnym urządzeniu lub obwodzie, spowoduje to różne wypadki.Łatwo rdzewieje, gdy wilgotność względna wynosi 50%.Dodatkowo, gdy wilgotność będzie zbyt wysoka, pył znajdujący się na powierzchni płytki krzemowej zostanie chemicznie zaadsorbowany przez cząsteczki wody zawarte w powietrzu na powierzchnię, co będzie trudne do usunięcia.Im wyższa wilgotność względna, tym trudniej jest usunąć przyczepność, ale gdy wilgotność względna jest niższa niż 30%, cząstki są również łatwo adsorbowane na powierzchni pod wpływem działania siły elektrostatycznej i dużej liczby półprzewodników urządzenia są podatne na awarie.Najlepszy zakres temperatur do produkcji płytek krzemowych wynosi 35 ~ 45%. Kontrola temperatury i wilgotności jest ważnym warunkiem czystej produkcji warsztatowej, a temperatura względna i wilgotność są powszechnie stosowanymi warunkami kontroli środowiska podczas pracy czystych warsztatów.
Temperaturę i wilgotność w pomieszczeniu czystym określa się głównie na podstawie wymagań procesu, ale pod warunkiem spełnienia wymagań procesu należy wziąć pod uwagę komfort człowieka.Wraz ze wzrostem wymagań dotyczących czystości powietrza istnieje tendencja, że ​​procesowi stawiane są coraz bardziej rygorystyczne wymagania dotyczące temperatury i wilgotności.