Automatyczna kontrola temperatury i wilgotności
Temperaturę i wilgotność w pomieszczeniu czystym określa się głównie na podstawie wymagań procesu, ale pod warunkiem spełnienia wymagań procesu należy wziąć pod uwagę komfort człowieka.Wraz ze wzrostem wymagań dotyczących czystości powietrza istnieje tendencja, że procesowi stawiane są coraz bardziej rygorystyczne wymagania dotyczące temperatury i wilgotności.
W miarę jak dokładność obróbki jest coraz lepsza, wymagania dotyczące zakresu wahań temperatury są coraz mniejsze.Na przykład w procesie naświetlania litograficznego w produkcji układów scalonych na dużą skalę różnica między współczynnikiem rozszerzalności cieplnej szkła i płytki krzemowej jako materiału membrany musi być coraz mniejsza.Płytka krzemowa o średnicy 100 μm spowoduje liniową rozszerzalność o 0,24 μm, gdy temperatura wzrośnie o 1 stopień.Dlatego musi mieć stałą temperaturę wynoszącą ±0,1 stopnia.Jednocześnie ogólnie wymagana jest niska wilgotność, ponieważ po poceniu się produktu produkt zostanie zanieczyszczony, szczególnie w przypadku warsztatów zajmujących się półprzewodnikami, które boją się sodu, ten rodzaj czystego warsztatu nie powinien przekraczać 25 stopni.
Nadmierna wilgotność powoduje więcej problemów.Gdy wilgotność względna przekroczy 55%, na ściance rury wody chłodzącej nastąpi kondensacja.Jeśli zdarzy się to w precyzyjnym urządzeniu lub obwodzie, spowoduje to różne wypadki.Łatwo rdzewieje, gdy wilgotność względna wynosi 50%.Dodatkowo, gdy wilgotność będzie zbyt wysoka, pył znajdujący się na powierzchni płytki krzemowej zostanie chemicznie zaadsorbowany przez cząsteczki wody zawarte w powietrzu na powierzchnię, co będzie trudne do usunięcia.Im wyższa wilgotność względna, tym trudniej jest usunąć przyczepność, ale gdy wilgotność względna jest niższa niż 30%, cząstki są również łatwo adsorbowane na powierzchni pod wpływem działania siły elektrostatycznej i dużej liczby półprzewodników urządzenia są podatne na awarie.Najlepszy zakres temperatur do produkcji płytek krzemowych wynosi 35 ~ 45%.
