Poziom oczyszczania kurzu 100 000
1. Należy sprawdzić czystość powietrza w pomieszczeniu czystym w następujący sposób
(1) Stan pusty, test statyczny
Test stanu pustego: Pomieszczenie czyste zostało zakończone, system oczyszczonej klimatyzacji działa normalnie, a test przeprowadza się bez wyposażenia procesowego i personelu produkcyjnego w pomieszczeniu.
Test statyczny: System klimatyzacji oczyszczający pomieszczenie czyste działa normalnie, zainstalowano sprzęt procesowy, a test przeprowadza się bez personelu produkcyjnego w pomieszczeniu.
(Dwa) test dynamiczny
Pomieszczenie czyste zostało przetestowane w normalnych warunkach produkcyjnych.
Detekcja objętości powietrza, prędkości wiatru, nadciśnienia, temperatury, wilgotności i hałasu w pomieszczeniu czystym może być przeprowadzona zgodnie z odpowiednimi przepisami dotyczącymi ogólnego użytkowania i klimatyzacji.
Tabela poziomu czystości powietrza w pomieszczeniu czystym (obszarze).
| Poziom czystości | Maksymalna dopuszczalna liczba cząstek pyłu/m3≥0,5μmLiczba cząstek pyłu | ≥5μmLiczba cząstek pyłu | Maksymalna dopuszczalna liczba mikroorganizmów Bakterie planktonowe/m3 | Osadzanie bakterii/naczynie |
| 100klasa | 3500 | 0 | 5 | 1 |
| 10 000klasa | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000klasa | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000klasa | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
